マイクロ・ナノ加工技術


大学名／所属	京都大学／マイクロエンジニアリング
研究者名	田畑修教授
研究室URL	http://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/
研究内容・成果	■マイクロ・ナノ加工技術の研究
産学連携状況	■有機機能材料のリソグラフィーコンソーシアム（15社程度）を形成し産業／企業動向、トレンド、先端研究についての情報交換、出口戦略議論などを実施
産業応用の可能性	■マイクロマシーンやMEMS、マイクロシステムを構築するための三次元微細加工